低温等离子体作为一种高效、低能耗、处理量大、操作简单的环保新技术常用来处理有毒、有害及难降解物质。低温等离子体技术对气体的流速和浓度有一个很宽的应用范围。反应条件为常温常压，反应器结构简单，低温等离子设备可同时消除混合污染物(有些情况还具有协同作用)，不会产生二次污染。就经济可行性来说，低温等离子体反应装置本身系统构成单一紧凑；在运行费用方面，微观来讲，因放电过程只提高电子温度而离子温度基本保持不变，这样反应体系就得以保持低温，所以不仅能量利用率高，设备维护费用也很低。